分類 1

分類 2

用途例

測定濃度範囲

分解能

型 式

表示器

医 療

高濃度酸素

酸素濃縮器

0-96 Vol%O2

0.4%

US-100-5VS

人工呼吸器

0-100 Vol%O2

0.4%

酸素PSAメンテナンス

0-96 Vol%O2

1.20%

US-IX

デジタルメーター

笑気ガス

N2O/O2混合装置

0-100 Vol%N2O

0.1%

US-100-5VS

工業用ガス発生装置

高濃度酸素

酸素発生装置

0-96 Vol%O2

0.4%

アルゴンガス

アルゴン発生装置

0-100 Vol%Ar

0.3%

高濃度窒素

窒素発生装置

0-100 Vol%N2

0.10%

US-UT シリーズ

TFT液晶

熱処理

雰囲気炉

焼成炉

0-50 Vol%H2

0.02%

半導体、液晶

温室効果ガス

CF4精製装置

0-100 Vol%CF4

0.04%

SF6精製装置

0-100 Vol%SF6

0.03%

希ガス

Xe/Ne混合ガス回収装置

0-100 Vol%Xe

0.01%

0.02%

0-100 Vol%Kr

0.02%

レーザー

希ガス

Ar/Ne混合ガス回収装置

0-10 Vol%Ar

0.04%

自動車

燃料電池

ヘリウムリークデテクタ

0-10 Vol%He

0.02%

US-IT-P

ガスミキサー

混合ガス装置

CO2+Ar

0-100 Vol%CO2

0.05%

US-UT シリーズ