分類 1 |
分類 2 |
用途例 |
測定濃度範囲 |
分解能 |
型 式 |
表示器 |
医 療 |
高濃度酸素 |
酸素濃縮器 |
0-96 Vol%O2 |
0.4% |
− |
|
人工呼吸器 |
0-100 Vol%O2 |
0.4% |
||||
酸素PSAメンテナンス |
0-96 Vol%O2 |
1.20% |
デジタルメーター |
|||
笑気ガス |
N2O/O2混合装置 |
0-100 Vol%N2O |
0.1% |
− |
||
工業用ガス発生装置 |
高濃度酸素 |
酸素発生装置 |
0-96 Vol%O2 |
0.4% |
||
アルゴンガス |
アルゴン発生装置 |
0-100 Vol%Ar |
0.3% |
|||
高濃度窒素 |
窒素発生装置 |
0-100 Vol%N2 |
0.10% |
TFT液晶 |
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熱処理 |
雰囲気炉 |
焼成炉 |
0-50 Vol%H2 |
0.02% |
||
半導体、液晶 |
温室効果ガス |
CF4精製装置 |
0-100 Vol%CF4 |
0.04% |
||
SF6精製装置 |
0-100 Vol%SF6 |
0.03% |
||||
希ガス |
Xe/Ne混合ガス回収装置 |
0-100 Vol%Xe |
0.01% |
|||
0.02% |
||||||
0-100 Vol%Kr |
0.02% |
|||||
レーザー |
希ガス |
Ar/Ne混合ガス回収装置 |
0-10 Vol%Ar |
0.04% |
||
自動車 |
燃料電池 |
ヘリウムリークデテクタ |
0-10 Vol%He |
0.02% |
||
ガスミキサー |
混合ガス装置 |
CO2+Ar |
0-100 Vol%CO2 |
0.05% |